產(chǎn)品目錄
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POLOS® SPIN200x 基材旋涂機(jī) PTFE 高級版
POLOS® SPIN200x 基材旋涂機(jī) PTFE 高級版
POLOS® SPIN200x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機(jī)，由PTFE 制成。
它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計。
可以同時實現(xiàn)臺式（Table top）和嵌入式（In-deck）版本，用于手動或自動（可選）化學(xué)藥劑分配。
適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。
POLOS® SPIN200x 基材旋涂機(jī) PTFE 高級版
腔室規(guī)格:
- 最大支持8" (200mm) 晶圓
- 最大支持6" x 6" (105mm) 基板
- 材質(zhì): PTFE
硬件規(guī)格
- 液體過濾器
- 具有特殊的外殼和排水設(shè)計，可在現(xiàn)場輕松切換臺式和嵌入式型號.
- 配備中心注射架，用于安裝注射器或分配噴嘴
- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全
-大型（可拆卸）觸摸顯示屏
- USB 端口，用于在 USB 驅(qū)動器上存儲配方和進(jìn)行軟件更新
- 8 I/O 端口
- 能夠定義電機(jī)歸零位置，便于在機(jī)器人控制/自動化環(huán)境中進(jìn)行集成
- 通過集成步進(jìn)電機(jī)實現(xiàn)自動開蓋和關(guān)蓋.
驅(qū)動單元規(guī)格:
- 采用間接無刷驅(qū)動單元
- 最高轉(zhuǎn)速可達(dá)12,000 RPM（取決于基板/卡盤）
- 具有高加速度和高精度
- 加/減速范圍為1-30,000 RPM
- CW、CCW旋轉(zhuǎn)和Puddle選項
隨附旋涂儀卡盤和適配器:
-隨附1x A-V87-S96-PP-HD, 真空卡盤
或
-隨附1 x A-V36-S45-PTFE-HD, 真空卡盤
-隨附1 x D-V10-S50-PTFE-HD, 碎片適配器
- FCA SPS-Europe, The Netherlands
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